การลดการปล่อยคาร์บอนในกระบวนการทำให้วัสดุ MEMS แห้ง เราได้เปลี่ยนจากเตาอบแบบธรรมดามาใช้หลอดไฟอินฟราเรดในการทำให้แผ่นวัสดุ MEMS แห้งแทน...

บทนำ เราสร้างหลอดไฟให้ความร้อนแบบอินฟราเรดนี้ขึ้นมาโดยมีจุดประสงค์เพียงอย่างเดียว นั่นก็คือการนำไปใช้ในโรงงานผลิตชิป...

ลองดูวิธีการที่แผ่นวีเฟอร์ถูกนำออกมาจากสถานีทำความชื้นดูสิ หากหลอดไฟสำหรับการทำให้แห้งทำงานไม่เต็มประสิทธิภาพ ก็จะมีความชื้นหลงเหลืออยู่...