TEL (Tokyo Electron) เลนส์ใช้สำหรับการให้ความร้อน

Thu, 18 Jun 2026 04:07:52 +0800

ในกระบวนการลิโทกราฟี การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 0.5°C ระหว่างขั้นตอนการอบแผ่นวัสดุไฟโอโรเซสทิฟก็เพียงพอที่จะทำให้ค่าขนาดของชิ้นส่วนผิดเกณฑ์ที่กำหนด และส่งผลให้ต้องทิ้งชิ้นส่วนเหล่านั้นไป หลอดไฟของ TEL ถูกออกแบบมาโดยคำนึงถึงความจริงที่ว่าอุณหภูมิไม่ใช่เพียงค่าที่แสดงบนหน้าจอเท่านั้น แต่ยังเป็นปัจจัยสำคัญในการกำหนดคุณภาพของชิ้นส่วนอีกด้วย

สิ่งที่สำคัญจริงๆ คืออะไร? เราเลือกใช้หลอดไฟอินฟราเรดคลื่นสั้นที่มีการควบคุมสเปกตรัมได้อย่างแม่นยำ เพื่อให้สามารถถ่ายโอนพลังงานไปยังแผ่นวัสดุได้อย่างรวดเร็ว ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนพื้นผิวแผ่นวัสดุควรอยู่ในช่วง ±0.1°C ส่วนความสามารถในการทำงานในห้องปลอดฝุ่นระดับ 1–100 นั้นมาจากการใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย และไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ ระบบนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยมีช่วงเวลาในการบำรุงรักษาที่แน่นอน ดังนั้นจึงไม่มีปัญหาด้านเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด

นี่คือเหตุผลว่าทำไมระบบนี้จึงสามารถใช้งานได้อย่างมีประสิทธิภาพในกระบวนการผลิต การอบแบบ “Soft Bake” และ “Hard Bake” จะไม่ขึ้นอยู่กับความสามารถของผู้ปฏิบัติงานอีกต่อไป แต่จะกลายเป็นกระบวนการที่มีความแม่นยำและสามารถทำซ้ำได้ คุณจะได้ผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอ มีข้อบกพร่องน้อยลง และมีอัตราการผลิตที่ดีขึ้น นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ยังอยู่ในระดับที่ควบคุมได้ เนื่องจากการเชื่อมต่อระหว่างหลอดไฟกับแผ่นวัสดุที่มีประสิทธิภาพ ผลลัพธ์ที่ได้คือความสามารถในการทำซ้ำได้: อุณหภูมิที่สม่ำเสมอในแต่ละชุดวัสดุ และในแต่ละช่วงเวลาการผลิต

มีข้อควรระวังอีกสองสามข้อ นั่นคือ การติดตั้งหลอดไฟจะต้องทำให้เข้ากันได้กับช่องทางการอบและอุปกรณ์ที่ใช้ โดยเรามีชุดอุปกรณ์ที่ได้รับการทดสอบมาแล้วสำหรับระบบ TEL ควรมีการจัดการที่เหมาะสมเพื่อให้มั่นใจว่าอุณหภูมิอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด แม้แต่ความแตกต่างเล็กน้อยในค่าการแผ่รังสีหรือโครงสร้างของวัสดุก็อาจส่งผลต่อกระบวนการอบได้

โทรศัพท์ on Infrared Quartz Heating Systems

TEL (Tokyo Electron) เลนส์ใช้สำหรับการให้ความร้อน