Wafer işleme sırasında ısı kaybını durdurun Vakum ortamlarındaki sorun şu: Konveksiyon etkisi tamamen ortadan kalkıyor. Bu da ısının hareket ettirilmesi için radyasyona bağımlı olmanız anlamına geliyor. Eğer bu enerji substratın üzerine ulaşmazsa, o enerji boşa gitmiş oluyor. Bu da soğutucuların bu enerjiden kurtulmak için daha fazla çaba sarf etmesine neden oluyor. İşte bu yüzden altın kaplı yansıtıcılar kullanıyoruz. Bu mantıklı bir çözüm. Neden altın? Standart alüminyum yansıtıcılar bir süreliğine işe yarar, ancak yüksek sıcaklık ve sürekli vakum koşulları altında zarar görebilirler. Altın ise farklıdır; kızılötesi spektrumu çok daha iyi yönetir ve bu fotonların büyük bir kısmını doğrudan waferin üzerine geri yansıtır. Asıl mesele “daha fazla ısı” değil,kontroltür. Sadece güç seviyesini yükselterek en iyisini ummak yerine, enerjiyi tam da gereken yere yönlendiriyorsunuz. Sonuç olarak wafer üzerindeki sıcaklık dağılımı düzenli kalıyor. Zor kısım Ancak bunları dar alanlara yerleştirmek her zaman kolay değildir. Altın tabaka çok incedir ve hassastır. Eğer bir teknisyen kurulum sırasında kazara bu tabakayı çizerse, wafer üzerinde soğuk noktalar oluşur. Bu küçük hata büyük sorunlara yol açabilir. Ayrıca güç yoğunluğunu dengelemek de önemlidir. Altın çok fazla enerjiyi geri yansıttığı için lamba kendisi daha fazla ısınır. Bunu basitçe oraya yerleştirip unutmak mümkün değildir; soğutma sistemlerinin bu ekstra yükü kaldırabileceğinden emin olmalısınız. Eğer soğutma yetersizse, filamentler beklenenden daha hızlı yanabilir. Faydaları Bu çabanın karşılığı değerlidir. Hedef sıcaklıklara daha hızlı ulaşılır, bu da işlem sürelerinin azalmasını sağlar. Ayrıca enerji çok iyi yönlendirildiği için toplam güç tüketimi azaltılabilir ve yine de wafer doğru sıcaklıkta tutulabilir. Bu, daha fazla waferin işlenmesini sağlamanın basit bir yoludur.