http://ir-qz-heating.com/tr/tags/kvart/ Recent content in Kvart on Infrared Quartz Heating Systems Hugo tr Wed, 01 Jul 2026 12:30:51 +0800 http://ir-qz-heating.com/tr/posts/quartz-heater-tube-for-fab-oven/ Wed, 01 Jul 2026 12:30:51 +0800 http://ir-qz-heating.com/tr/posts/quartz-heater-tube-for-fab-oven/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Fabrika fırını için kuvars ısıtıcı tüpü"></p> <p>Üretim alanında, fotoresistin ısıtılması sadece bir ısınma işlemi değildir; bu, bir süreç adımıdır. Eğer ısıtma işlemini 1°C kadar bile değiştirirseniz, CD’de değişiklikler, yan duvar açılarında sapmalar ve kusur yoğunluğunda artışlar meydana gelir. Fırının kuvars ısıtıcı tüpleri, tekrarlanabilir bir ısı sağlamalıdır; yani herhangi bir parçacık oluşmamalı ve herhangi bir sapma olmamalıdır.</p> <p><strong>Önemli olan şeyler</strong> Bu tüpler, ince waflar için gerekli olan termal koşullar ve litografi işlemleri için gerekli olan stabiliteyi sağlayacak şekilde tasarlanmıştır. Aktif bölgede sıcaklık homojenliği ±0.1°C civarında tutulur; böylece değişken yükler altında da ayar noktası sabit kalır. Orta dalga infrarımsı ışık hızlı tepki verir; bu sayede rampa süresi azalır ve döngü süresi sabit kalır.</p>