Перестаньте марнувати енергію під час обробки ваферів Проблема вакуумного середовищ полягає у тому, що тут відсутня конвекція. Це означає, що для передачі тепла доводиться користуватися випромінюванням. Але якщо ця енергія не потрапляє на поверхню вафера, вона просто втрачається. Це марновитрачена енергія, яку потім доводиться виводити за допомогою спеціальних пристроїв для охолодження. Саме тому ми використовуємо відбивачі, покриті золотом. Це логічне рішення. Чому саме золото? Стандартні алюмінієві відбивачі можуть підійти на початковому етапі, але вони швидко приходять у непридатність під впливом високих температур та постійних змін вакууму. Золото ж має інші властивості – воно краще відбиває інфрачервоне випромінювання, тож значна частина фотонів повертається назад до вафера. Йдеться не про „більше“ тепла, а про контроль над ним. Замість того, щоб просто збільшувати потужність, можна спрямовувати енергію саме туди, де вона потрібна. Результатом є рівномірна температура по всій поверхні вафера. Проблеми при встановленні Встановлення таких відбивачів на обмеженій площі не завжди є простим завданням. Шар золота дуже тонкий, а його властивості чутливі до зовнішніх впливів. Якщо під час встановлення відбивача станеться подряпина на його поверхні, це може призвести до утворення „холодної зони“ на вафері. Це невелика помилка, але вона може спричинити серйозні проблеми. Крім того, через те, що золото відбиває багато енергії, сама лампа нагрівається сильніше. Не можна просто встановити такі відбивачі та забути про них – потрібно переконатися, що системи охолодження та насоси здатні впоратися з цим додатковим навантаженням. Якщо система охолодження слабка, філаменти будуть перегріватися значно швидше, ніж це необхідно. Переваги Переваги використання таких відбивачів варте зусиль. Ви досягаєте потрібної температури швидше, що означає скорочення часу обробки ваферів. Крім того, завдяки точному спрямуванню енергії можна зменшити загальну потужність, все одно зберігаючи правильну температуру вафера. Це простий спосіб обробки більшої кількості ваферів без необхідності використання додаткових нагрівачів.