Điều chỉnh nhiệt độ một cách chính xác trong nhà máy thông minh Nếu bạn đang xây dựng một nhà máy thông minh cho công nghệ Industry 4.0, chắc hẳn bạn đã nhận ra rằng phương pháp sưởi ấm truyền thống không còn hiệu quả nữa. Bạn cần có dữ liệu để điều chỉnh nhiệt độ một cách chính xác. Đó là lý do tại sao hầu hết chúng ta chọn sử dụng các hệ thống sưởi bằng tia hồng ngoại (IR). Chúng vừa hiệu quả, vừa không tiếp xúc trực tiếp với wafer, và độ chính xác của chúng cũng rất cao. Nhưng đây chính là điểm khó: khoảng cách giữa bộ phát tia hồng ngoại và wafer. Nếu khoảng cách này không được điều chỉnh đúng, bạn sẽ gặp vấn đề. Việc điều chỉnh khoảng cách Hãy coi khoảng cách an toàn như việc đi trên sợi dây mỏng. Nếu đèn quá gần wafer, sẽ xuất hiện những vùng nóng cực độ; những vùng nhiệt độ cao này có thể làm biến dạng wafer trong vài giây, và điều đó đồng nghĩa với việc lãng phí tiền bạc. Ngược lại, nếu đèn quá xa, bạn chỉ đang làm nóng không khí trong buồng sản xuất mà thôi. Hệ thống cung cấp điện sẽ phải hoạt động hết công suất để bù đắp cho sự mất mát năng lượng này, điều này sẽ ảnh hưởng xấu đến chi phí năng lượng và tuổi thọ của thiết bị. Vấn đề liên quan đến mật độ dòng nhiệt Tia hồng ngoại sóng ngắn rất hiệu quả trong việc làm nóng vật liệu, nhưng chúng rất kén chọn về khoảng cách. Bạn cần phải điều chỉnh khoảng cách một cách chính xác để đảm bảo bề mặt wafer được làm nóng đồng đều. Đừng chỉ “điều chỉnh rồi quên mất” Trong một dây chuyền sản xuất hiện đại, chúng ta không thể chỉ bật công tắc rồi hy vọng mọi thứ diễn ra tốt đẹp. Chúng ta cần sử dụng hệ thống phản hồi khép kín. Khi kết hợp các bộ phát tia hồng ngoại với các thiết bị đo nhiệt độ tốc độ cao, hệ thống có thể “nhìn thấy” nhiệt độ và điều chỉnh mức năng lượng phù hợp ngay lập tức. Điều này giúp bạn kiểm soát được toàn bộ quá trình sản xuất, từ đó biết chính xác điều gì đã xảy ra với từng wafer. Những điều cần lưu ý Các bộ phát tia hồng ngoại có mật độ cao hoạt động rất nhanh. Điều này rất tốt cho tốc độ sản xuất. Nhưng toàn bộ nhiệt lượng đó cần phải được xử lý. Nếu bạn tăng công suất để rút ngắn thời gian sản xuất, bo mạch của bạn sẽ bị quá tải. Hệ thống làm mát cần phải đủ mạnh để xử lý lượng nhiệt này. Nếu bạn không chú ý đến việc làm mát, các đèn sẽ nhanh chóng hỏng, hoặc các cảm biến sẽ bị sai lệch. Đó là những vấn đề mà bạn không muốn gặp phải. Lời khuyên của tôi là hãy điều chỉnh khoảng cách một cách cẩn thận trong quá trình calibrating. Tốt hơn hết là bắt đầu với khoảng cách hơi xa một chút, thay vì để một lô wafer bị hỏng ngay từ ngày đầu tiên.