http://ir-qz-heating.com/vi/tags/cvd/ Recent content in CVD on Infrared Quartz Heating Systems Hugo vi Thu, 04 Jun 2026 03:25:34 +0800 http://ir-qz-heating.com/vi/posts/cvd-chemical-vapor-deposition-heater/ Thu, 04 Jun 2026 03:25:34 +0800 http://ir-qz-heating.com/vi/posts/cvd-chemical-vapor-deposition-heater/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Bộ gia nhiệt CVD (Lắng đọng hơi hóa học)"></p> <p>Trên sàn sản xuất, node 5nm không cho phép sai lệch nhiệt độ. Một điểm nóng <a href="https://o-yate.net">trong</a> buồng CVD sẽ dẫn đến độ dày không đồng đều, sai lệch thành phần hóa học và wafer bị loại bỏ ngay trước khi ra khỏi thiết bị. Bộ gia nhiệt phải đặt chính xác đúng vị trí theo công thức, chạy ổn định qua từng lần vận hành.</p> <p><strong>Điều quan trọng về mặt kỹ thuật</strong><br> Chúng tôi thiết kế bộ gia nhiệt CVD dựa trên các phần tử hồng ngoại sóng ngắn, tạo trường nhiệt kiểm soát trên susceptor với độ tập <a href="https://goldisgood.com">trung</a> chặt, dưới 1mm. Bạn đạt được độ đồng đều ở cấp wafer trong phạm vi ±0.1°C, cùng khả năng lặp lại điểm đặt nhiệt ổn định qua nhiều lô và ca sản xuất. Phản hồi nhiệt đủ <a href="https://o-yate.com">nhanh</a> để theo dõi các bước trong quy trình mà không vượt quá, tránh làm hỏng căng thẳng màng hoặc làm giảm tính chọn lọc của quá trình lắng đọng.</p>