
保持100级洁净室的清洁状态 在100级(ISO 5)的洁净环境中,哪怕有极微量的污染物进入,也足以毁掉整批芯片。因为哪怕是一小片油漆或微量化学气体,都可能破坏整个生产过程。 问题在于,大多数红外线灯的内部结构中都含有各种粘合剂或涂层,这些物质在受热后会脱落。这无疑是个大麻烦。我们通过使用高纯度的合成石英来解决这个问题。 没有杂质,没有颗粒物。 普通石英中含有金属杂质。当灯光加热或冷却时,这些杂质会迁移到表面,从而污染芯片。我们则彻底去除了这些杂质——没有有机涂层,也没有粘合剂。这样一来,灯光就不会再向芯片上释放任何污染物了。 将热量精确地传递到所需位置。 我们选用了短波红外线光源。这种光源能够迅速作用于目标材料,而不会让周围的空气变热。此外,我们还确保了灯具的密封性,这样就不会有卤素气体泄漏出来。不过需要注意的是,如果将灯具的功率调到最大值,就需要注意空调系统的运行情况。如果房间温度过高,就会产生对流现象,从而让灰尘飞扬,而这是任何灯具都无法解决的。 易于安装。 这些灯具可以直接替代现有的高性能灯具。我们使用了精密加工的端盖,确保它们能紧密地贴合在一起。此外,所有的连接点都经过精心设计,以防止电弧现象的发生。因为电弧现象往往是金属微粒进入真空或洁净室的原因。 需要注意的是…… 高纯度石英虽然耐热性很好,但它的脆性比普通玻璃要高一些。如果在安装过程中不小心碰撞或摔落,它就可能会破裂。 请务必戴上手套。 指纹中的油脂会残留在石英表面,从而形成“热点”,缩短灯具的使用寿命。更糟糕的是,这还可能污染整个生产线。所以,请保持其清洁,小心处理,这样它才能正常工作。