停止浪费热量：为何金色反射器如此重要
在加热硅晶圆时，每一瓦特的能量损失都意味着金钱的流失。大多数人仍然使用普通的铝制反射器，但问题在于这些反射器会吸收和散射过多的能量，效率极低。 因此，我们才选择使用镀金反射器。 黄金是红外光谱中的“王者”。它不仅能反射光线，还能将臭氧灯发出的几乎所有能量直接导向晶圆表面。 其工作原理如下： 通常情况下，红外灯会将热量以360度范围散发出去，这样效率很低。但当我们将这些无臭氧灯与镀金结构的抛物面或椭圆形反射器结合使用时，情况就完全不同了。黄金层会将光子反射回目标位置，从而形成集中的热源。这样一来，就不需要提高灯的功率就能让晶圆得到更强的加热效果。 当然，也有代价。 黄金并非仅仅用于装饰而已，它还能承受高温。在极端高温下，这种镀层也不会脱落或氧化，这正是实现均匀加热所必需的。不过，把这么多能量集中在一个小区域内，也会给设备外壳带来压力。如果你想增加辐射强度，就必须确保设备的冷却系统能够有效散热。否则，设备温度就会超出控制范围。 实际应用： 我们用这种装置来对半导体进行固化处理以及晶圆烘烤。由于红外能量被集中起来，因此可以更快地达到所需的加工温度。 这显然是个双赢的局面：无需再浪费能量来加热机器周围的空气，而是直接加热晶圆本身。这样，设备的能耗更低，升温速度也更快，整个流程也会更加高效。