利用镀金反射器提高晶圆加工过程中的辐射能量密度

为何黄金涂层对红外能量传递如此重要？ 在处理智能传感器封装或半导体晶圆时，人们最关心的就是：如何让尽可能多的红外能量照射到晶圆上。显然，人们不希望昂贵的能量白白浪费在机器的机壳里，而无法发挥其作用。 这就是黄金涂层反射器的用武之地了。铝虽然常见，但它会让大量长波红外能量直接散失掉。而黄金则不同——...