晶圆加热的安全距离

确保合适的距离：红外晶圆加热技术 在半导体制造过程中，我们使用短波红外线灯来精确控制温度。这种方式比使用对流式烤箱要好得多，因为对流式烤箱会浪费大量能量。不过，如果想要打造更环保的工厂、减少碳足迹，那么就必须准确控制红外线灯与晶圆之间的“安全距离”。 关于距离的问题 其实，关键并不只是确保石英管不...