在MEMS晶圆干燥过程中减少碳排放 在干燥MEMS传感器晶圆时，我们已不再使用那些老旧、效率低下的对流式烤箱，而是改用红外线加热灯。其目的很简单：让晶圆上的水分更快蒸发，同时减少能源消耗。 如果你曾经在半导体工厂工作过，就会知道，为了烘干一小块硅片，需要耗费大量能量来加热大量空气。这显然是浪费资源...

引言 我们设计这些红外加热灯时，考虑的重点就是工厂环境。因为在进行能源审计时，我们需要的是能够精确控制热量的加热方式，而不是让热量无处不在的加热方式。 传统的对流式加热方式只会使空气变暖，这无疑意味着能源的浪费。而我们的定向加热方式则能将热量精准地传递到需要加热的地方。这样一来，就无需再为半导体设...

可以看到，晶圆正从湿处理工位上被取出来。如果干燥灯的效率不足，就会导致水分残留，进而使光刻胶开始脱落。这样一来，产品的合格率就会下降。我们设计的太阳能电池晶圆干燥灯就是为了避免这种情况发生。 其核心在于：该设备利用近红外光源实现快速、均匀的加热效果，从而在不损坏基材的情况下将晶圆烘干。晶圆表面的温...