http://ir-qz-heating.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Infrared Quartz Heating Systems Hugo zh Wed, 22 Jul 2026 04:30:06 +0800 http://ir-qz-heating.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Wed, 22 Jul 2026 04:30:06 +0800 http://ir-qz-heating.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <p>在MEMS晶圆干燥过程中减少碳排放<br> 在干燥MEMS传感器晶圆时，我们已不再使用那些老旧、效率低下的对流式烤箱，而是改用红外线加热灯。其目的很简单：让<a href="https://o-yate.com">晶圆上</a>的水分更快蒸发，同时减少能源消耗。</p> <p>如果你曾经在半导体工厂工作过，就会知道，为了烘干一小块硅片，需要耗费大量能量来加热大量空气。这显然是浪费资源的行为。实现“绿色工厂”的目标，其实就是要避免这种浪费。</p>