CVD 化学气相沉积 加热器

在晶圆厂车间，5nm工艺节点对温度的容忍度几乎为零。CVD腔室内出现一个热点，就会导致膜厚不均匀、化学计量比漂移，甚至晶圆在离开设备前就被报废。该加热器必须准确地落在工艺配方指定的位置，且每次运行保持一致。 技术关键点 我们围绕短波红外元件构建CVD加热器，在承载体上形成受控的热场——聚焦精准，亚...