停止加热空气：更智能的洁净室运行方式 如果我们真的想要实现半导体制造领域的碳中和目标，就必须摒弃传统的对流式加热方式。想想看：那种加热方式会让整个腔室内的空气、墙壁等一切物体都变热，而这一切都是为了将晶圆加热到合适的温度。这无疑是一种巨大的能源浪费。 这时，红外线加热技术便派上用场了。它不需要加热...

在制造车间中，光刻胶的烘烤过程并非简单的预热步骤，而是一个至关重要的工艺环节。如果将烘烤温度稍微调整1摄氏度，就会导致光刻胶的厚度发生变化，侧壁角度也会出现偏差，同时缺陷密度也会上升。因此，烤箱中的石英加热管必须能够提供稳定的热量——不能产生任何颗粒物，也不能出现温度波动。 关键在于什么？ 我们设...