标签为“玻璃”的页面如下 用于光刻机的石英玻璃屏蔽罩 别再让能量在工厂里白白浪费了 说实话,在晶圆制造过程中浪费能源,其实是一种设计缺陷。当使用高功率灯来加热晶圆时,大量红外能量会四处散失,无法集中在需要加热的区域。我们可以通过镀金石英玻璃罩来解决这个问题。 可以把这种涂层看作是高级镜子——它不仅能覆盖住灯泡,还能确保每一瓦特的能量都直接照射到晶圆上... Read more...
用于光刻机的石英玻璃屏蔽罩 别再让能量在工厂里白白浪费了 说实话,在晶圆制造过程中浪费能源,其实是一种设计缺陷。当使用高功率灯来加热晶圆时,大量红外能量会四处散失,无法集中在需要加热的区域。我们可以通过镀金石英玻璃罩来解决这个问题。 可以把这种涂层看作是高级镜子——它不仅能覆盖住灯泡,还能确保每一瓦特的能量都直接照射到晶圆上... Read more...