TEL 东京电子 加热灯

在光刻过程中，如果光阻烘烤时的温度出现0.5°C的偏差，就足以导致关键尺寸超出标准范围，从而造成大量产品报废。TEL加热灯的设计理念是：温度并非仅仅是屏幕上的数值，它实际上决定了图案的质量。 真正重要的因素是什么？ 我们选择那些光谱控制精确的短波红外灯，这样它们就能与石英材料的吸收特性相匹配，从而...