利用真空红外加热系统降低半导体的碳足迹
在半导体制造过程中降低碳排放:为何真空红外技术如此有效 说实话,传统的电阻式加热炉极其耗能。它们需要消耗大量电能来加热整个炉室——包括墙壁在内——只为让晶圆达到合适的温度。这就好比为了加热一杯咖啡而把整栋房子都加热起来一样,简直浪费至极。随着“绿色工厂”标准的日益严格,这种做法已经成了一个亟待解决...
真空腔体红外加热器
在爆炸性环境中使用红外加热器时,如何确保安全呢?
说实话,将红外加热器放入充满易燃化学物质的真空环境中,实在是一件令人担忧的事情。哪怕有一丁点火花或石英管出现裂纹,都可能引发爆炸。这无疑是一种高风险的环境。
要想安心入睡,那就不要使用开放式加热元件了。相反,应该选择经过特殊封装的加热系统。
封装技...
与真空环境兼容的红外加热器
为何真空红外加热是理想的解决方案 在真空中保持晶圆的清洁其实是一件很麻烦的事。哪怕有那么一点点污染,都会导致产量下降。正因如此,我们才逐渐放弃那些效率低下的传统电阻式加热炉,转而使用适合真空环境的红外加热器。 这是一种更高效的工作方式,同时还能减少大量能源的浪费,从而为地球环保做出贡献。
真空环境...