晶圆回磨支撑加热器

在300毫米晶圆加工线中，晶圆薄化过程并非依靠强大的力量来实现的，而是通过精确控制热量分布来实现的。如果支撑加热器出现偏差，卡盘就会过热，粘合剂也会变软，从而导致晶圆变形。虽然不会立即出现严重的故障，但之后会出现在晶圆边缘的裂纹以及成品率下降等问题。 真正重要的因素 我们用于晶圆背面研磨的支撑加热...