红外 on Infrared Quartz Heating Systems

用于晶圆的精密红外传感器

Sun, 19 Jul 2026 15:27:39 +0800

别再浪费能量了：为何镀金反射器更有效

在加热硅晶圆时，每一瓦特的能量都至关重要。但问题在于：普通的红外灯效率很低，它会把能量散射到各个方向。大量能量并没有用于加热晶圆，而是被用来加热机器的框架，这无疑是一种电能和时间的浪费。

我们通过在反射器上涂覆高纯度黄金来解决这个问题。这样一来，所有能量都会被引导到正确的位置——直接照射到晶圆上。

红外发射器的陶瓷端盖

Fri, 17 Jul 2026 05:55:11 +0800

别再浪费能源了：为何镀金红外发射器更高效

如果在加工半导体晶圆时浪费能源，那不仅仅是成本问题，更是设计上的缺陷。
想象一下普通红外发射器的工作原理：大部分热量都会向周围散逸，而不会作用于需要加热的区域。这就好比用一只光线有一半会从后方散射出来的手电筒来照明房间一样。
因此，我们才使用镀金反射器和陶瓷端盖。这样就能让能量重新定向，直接照射到晶圆上。
镀金的神奇作用
普通的石英管会将热量向各个方向散发，效率极低。而在发射器背面涂上高纯度黄金涂层后，就能形成一种专门用于反射红外辐射的“镜子”。
为什么选择黄金呢？因为它的红外反射率远高于铝或不锈钢。
这样一来，你支付的每一瓦特能量都能被有效利用，从而在不需要提高功率的情况下，让晶圆获得更集中的热量。效率自然也就提高了。
陶瓷端盖的作用
此外，还有陶瓷端盖。它们可以解决热石英管与电气引线连接处的难题，防止电弧产生，同时确保整个结构保持稳固。
这一点非常重要。如果灯具的位置发生哪怕几毫米的偏移，热量分布就会不均匀，从而导致某些区域过热，进而毁掉整批晶圆。这可不是什么好事。
权衡利弊（因为没有免费的午餐）
不过，这种高效设计也有其代价。当如此多的能量集中在一点时，冷却系统就需要更加努力地工作。由于热量过于集中，周围的部件也会吸收更多热量。因此，必须确保风扇或水冷装置能够应对这种额外的负荷。否则，相关部件很可能会因过热而损坏。
如果电源的输出功率足够的话，这种替换方案其实很简单。它可以将原本效率低下的热源转化为高效的加热工具。

光阻软烘温度红外检测

Sat, 27 Jun 2026 04:40:20 +0800

在光刻工序中，光刻胶在软化处理过程中的半度偏差其实并非无关紧要的小问题。这种偏差会表现为线宽的变化、溶剂残留以及产量下降，而这些现象是任何检测都无法解释的。我们设计的红外软化处理装置就是为了消除这些不确定性，因为晶圆干燥和光刻胶处理都需要精确的控制，而不是凭经验行事。

关键在于精准控制 我们让短波红外发射器与常见光刻胶溶剂的吸收光谱相匹配，这样能量就能直接作用于光刻胶层，而不会使基底过热。这样一来，就可以实现快速、无接触式的加热，且整个加热表面的温度均匀性可控制在±0.1℃以内。系统采用闭环控制方式，通过校准过的传感器来确保温度控制精度，从而避免操作误差。该系统可在1级至100级的洁净室环境中运行，且不会产生任何颗粒物，从而有效减少晶圆上的缺陷。