利用真空红外加热系统降低半导体的碳足迹

在半导体制造过程中降低碳排放：为何真空红外技术如此有效 说实话，传统的电阻式加热炉极其耗能。它们需要消耗大量电能来加热整个炉室——包括墙壁在内——只为让晶圆达到合适的温度。这就好比为了加热一杯咖啡而把整栋房子都加热起来一样，简直浪费至极。随着“绿色工厂”标准的日益严格，这种做法已经成了一个亟待解决...