不锈钢加热器外壳制造

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤不是可选项——这是硬性要求。软烤或硬烤过程中温度漂移2°C就会影响关键尺寸控制并降低良率。加热器外壳必须将热能意图转化为现场的实际性能，同时不能增加颗粒风险或引入热惯性。 内部关键点 我们采用不锈钢加热器外壳，内置短波红外元件，实现亚毫米级均匀热分布，并且在批次间具有可重复...