利用高纯度石英红外加热器 实现100级洁净室标准
保持100级洁净室的清洁状态 在100级(ISO 5)的洁净环境中,哪怕有极微量的污染物进入,也足以毁掉整批芯片。因为哪怕是一小片油漆或微量化学气体,都可能破坏整个生产过程。 问题在于,大多数红外线灯的内部结构中都含有各种粘合剂或涂层,这些物质在受热后会脱落。这无疑是个大麻烦。我们通过使用高纯度的...
缩短氢传感器制造过程中的循环时间:红外加热与强制空气对流两种方法的比较
为什么在制造氢气传感器时,我们要用红外线替代热空气? 制造氢气传感器的关键在于精确控制温度。长期以来,人们一直使用热空气循环的方式来加热,这是传统半导体制造中的常用方法。但说实话,这种方式效率很低。因为需要先加热腔室内的空气,再让这些空气去加热传感器基材,最后才能使传感器材料变热。这样一来,大量的...
确保在含有易爆化学物质的清洁环境中使用红外加热灯时的安全性
防止晶圆加工工具发生爆炸 说实话,将红外加热灯与易燃的清洁剂混用,无异于自寻祸端。那些化学物质极其容易引发危险,只要有一点火花或表面过热,就可能导致爆炸,届时不仅会毁掉一批产品,还可能引发严重的安全事故。 正因如此,我们不会简单地制造红外加热灯,而是会为其加装防护装置。
防止泄漏 大多数普通加热灯...
利用镀金反射器提高晶圆加工过程中的辐射能量密度
为何黄金涂层对红外能量传递如此重要? 在处理智能传感器封装或半导体晶圆时,人们最关心的就是:如何让尽可能多的红外能量照射到晶圆上。显然,人们不希望昂贵的能量白白浪费在机器的机壳里,而无法发挥其作用。 这就是黄金涂层反射器的用武之地了。铝虽然常见,但它会让大量长波红外能量直接散失掉。而黄金则不同——...