Warum die Vakuum-Infrarot-Heizung für Ihre Produktionsanlage ideal ist
Es ist schwierig, die Wafer im Vakuum sauber zu halten. Schon die geringste Verunreinigung kann dazu führen, dass die Erträge sinken. Deshalb weichen wir von den alten, unflexiblen Widerstandsofen ab und nutzen stattdessen Infrarot-Heizer, die für das Vakuumumfeld geeignet sind.
Das ist eine intelligente Lösung – außerdem hilft sie der Umwelt, indem sie enorme Mengen an verschwendeter Energie einspart.
Der Trick bei der Heizung im Vakuum
Im Vakuum gibt es keine Konvektion – es bleibt nur die Strahlung übrig. Anstatt die gesamte Stahlkammer zu erwärmen – was im Grunde genommen so ist, als würde man einen ganzen Raum aufheizen, nur um eine Tasse Kaffee zu erwärmen – senden unsere IR-Systeme energiereiche Strahlen direkt auf das Substrat. So wird Energie gezielt eingesetzt. Dadurch werden Kilowattstunden gespart, und die Wafer erhalten genau die Wärme, die sie benötigen.
Sauber halten – und kühl bleiben
Verunreinigungen sind der Feind. Um Ausgasungen zu vermeiden, verwenden wir hochreine Quarzkörper sowie Filamente, die speziell für Vakuumumgebungen entwickelt wurden. Wenn man Materialien verwendet, die nicht den Anforderungen entsprechen, fördert man damit Unreinheiten, die die Produktqualität beeinträchtigen können. Wir verwenden Kurzwellen-IR-Emiter, denn diese durchdringen das Material schneller.
Aber Achtung: Achten Sie auf die Kühlungssysteme. Diese Lampen werden an ihren Anschlüssen extrem heiß. Wenn die Kühlung nicht ausreicht, können die Halterungen oder die Leitungen beschädigt werden. Das ist sicherlich kein angenehmer Zustand in der Produktion.
Kohlenstoffeinsparung – ohne Leistungseinbußen
Der eigentliche Vorteil liegt in der Geschwindigkeit. Widerstandsofen sind langsam – es dauert Stunden, bis sie vollständig aufgeheizt sind, und ebenso lange, bis sie wieder abgekühlt sind. IR-Systeme hingegen erledigen die Aufgabe in Minuten. Dadurch verbringen die Maschinen weniger Zeit mit dem Stillstehen. Wenn man sich die kWh pro Einheit ansieht, ist die Einsparung enorm. Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung, um die Reinräume grüner zu machen, ohne die Produktionsgeschwindigkeit zu verringern.
Wenn Sie alte Heizelemente haben und darüber nachdenken, wie Sie Ihre Dekarbonisierungsziele erreichen können, ersetzen Sie sie einfach durch diese neuen Heizelemente. Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung.