Deje de calentar el aire: una forma más inteligente de operar su sala limpia
Si realmente queremos alcanzar esos objetivos de neutralidad carbónica en las fábricas de semiconductores, debemos dejar de depender de los hornos convencionales. Piénselo: esos hornos calientan toda la sala, el aire, las paredes… todo, solo para llevar la oblea a la temperatura adecuada. Es un desperdicio enorme de energía.
Ahí es donde entra en juego la calefacción por infrarrojos. En lugar de calentar toda la sala, utilizamos los rayos infrarrojos para transmitir energía directamente sobre la oblea. Es un método más eficiente y evita el desperdicio de energía que provoca un aumento en la huella de carbono de la fábrica.
¿Cómo funciona en realidad?
Las lámparas de infrarrojos concentran el calor justo donde es necesario. Así, podemos prescindir de esos enormes ventiladores de circulación de aire y de los elementos de calefacción que consumen mucha electricidad.
Lo mejor es que podemos ajustar las longitudes de onda para controlar exactamente hasta qué profundidad llega el calor. No se desperdicia energía calentando el chasis de la máquina solo para alcanzar una temperatura superficial. Además, el proceso de calentamiento es rápido. Eso significa menos tiempo de inactividad y más tiempo dedicado al procesamiento de piezas.
Los desafíos
No basta con colocar algunas lámparas de calor en la sala limpia y listo. La contaminación por partículas es un problema serio, por lo que utilizamos envolturas de cuarzo y recubrimientos especiales para asegurarnos de que nada “escape” cuando las cosas se calientan.
También hay que tener en cuenta el sistema de enfriamiento. Las lámparas de infrarrojos de alta potencia generan mucho calor localizado. Si su sistema de enfriamiento no es lo suficientemente potente, el marco de la máquina se calentará y se producirán desviaciones térmicas. Eso afectará negativamente al proceso de producción, y nadie quiere lidiar con eso.
Qué significa esto en la práctica
Al final, el consumo de energía por oblea disminuye. Además, el equipo ocupa menos espacio, ya que no es necesario utilizar esos enormes hornos aislados que ocupan medio espacio de la sala. Para los ingenieros, es una solución muy positiva: se logran los objetivos de “fábrica verde” sin reducir la velocidad de producción. Se obtienen ciclos más rápidos, un menor consumo de energía por unidad y menos estrés en la red eléctrica.