בקו ה-300 ממ, דליית הוופר כרוכה פחות בשימוש בכוח גדול, ויותר בניהול התנאים התרמיים. אם החימום של המערכת לא יהיה יציב, הצ’אק יתחמם, החומר הדביק יהיה רך יותר, והוופר יתחיל להתעקם. לא נראית כישלון קטסטרופלי באופן מיידי; רק בהמשך ניתן לראות סדקים בקצוות הוופר וירידה באיכותו.
מה באמת חשוב
החימום של המערכת שלנו מבוסס על חימום אינפרא-אדום מהיר ויציב, עם אחידות גבוהה. בתהליך הייצור, אנו שומרים על טמפרטורה של הוופר בטווח של ±0.1°C על פני כל שטח התמיכה, כך שטמפרטורת הצ’אק תהיה יציבה. העיצוב של המערכת מתאים לשימוש בחדרי ניקיון מסוג Class 1 עד Class 100, וכל חומרי הגלם נבחרו כך שלא ייווצרו חלקיקים – ללא פליטת גזים, ללא שרידים. המערכת פועלת 24/7, עם רמת אמינות גבוהה, ומאפשרת שליטה מדויקת בטמפרטורה, גם כאשר התהליך אינו קשור לליתוגרפיה.
למה המערכת עובדת טוב בתהליך הדלייה
תהליך הדלייה גורם לוופרים להפוך לדקים מאוד, והחימום של המערכת משמש כאמצעי לייצוב הוופר. אחידות תרמית גבוהה מפחיתה את הלחץ על שכבת החומר הדביק, כך שהוופר נשאר שטוח במהלך הדלייה. אי-ייצור של חלקיקים מגן על הצד האחורי של הוופר, מה שמפחית את הזיהום לאחר הדלייה, ומסייע בתהליכי חיבור ואריזה. הדיוק הזה מאפשר גם שליטה מדויקת בטמפרטורה במהלך תהליכי עיבוד הוופר, ומשפר את האחידות בין המוצרים השונים.
מה צריך לעשות כדי שהמערכת תעבוד כראוי
יש להתקין את החימום באופן מדויק באינטרפייס של הצ’אק – חוסר אחידות עלול לגרום לנקודות חם ולירידה באחידות הטמפרטורה. יש לוודא שההספק והמתח תואמים את הדרישות של המכשיר, ושטמפרטורת שכבת החומר הדביק נמצאת בטווח שהחימום יכול לשלוט בו. כאשר האינטרפייס נכון, החימום פועל כקבוע יציב, ולא כמשתנה שצריך לשלוט בו.