スマートファブで適切な温度管理を行うには
もし、インダストリー4.0対応のスマートファブを構築しているのであれば、おそらく、温度管理がかなり難しい問題だと気づいているはずです。従来の対流式オーブンでは、加熱に時間がかかりすぎます。また、サイズが大きく、加熱にも時間がかかり、デジタル化された生産ラインには不向きです。
そのため、私たちは赤外線ランプを利用します。このランプは、部屋中の空気を加熱するのではなく、必要な場所だけに熱を照射します。これこそが、クリーンルーム内の微粒子数をコントロールする唯一の方法です。
速度とデジタル技術の活用
スマートファブでは、データがすべてです。何事も即座に行われる必要があります。
赤外線システムは、ほぼ瞬時に反応するため、非常に有用です。PLCから信号が送信されると、数秒以内にランプが目標温度に到達します。つまり、ウェーハが移動する際にも、加熱プロセスが同期しているのです。
さらに、全体の温度分布も把握できます。もし冷たい部分があれば、即座に出力を調整すればよいのです。推測する必要はありません。
スペースの節約
部屋の半分を占領するような機械は誰も欲しくありません。私たちは、高ワット密度のランプを使用することで、狭いスペースでも十分な熱を得ることができます。
これにより、貴重な床面積を他のロボットや検査装置に割り当てることができます。また、すべての機器を1つの中央ハブに接続できるため、消費電力の管理も簡単になります。
唯一の問題点
ただし、こうした集中したエネルギーはどこかに逃げてしまいます。
高密度の赤外線加熱により処理速度は向上しますが、HVACシステムには大きな負担がかかります。冷却や換気を適切に計画しなければ、モニタリングシステムで温度異常のアラームが鳴り続けることになります。
バランスを取ることが重要です。適切に熱を除去できなければ、加熱プロセスで得られた効率の向上は台無しになってしまいます。冷却をしっかり管理すれば、問題ありません。