なぜスマートファブには赤外線ヒーターが必要なのか？ スマートファブを構築する際、従来の対流式加熱ではもはや不十分だと気づくでしょう。速度が遅すぎます。さらに、クリーンルーム内で空気を動かすと、ウェーハ上に粒子が飛び散ってしまいます。 そのため、私たちは短波長の赤外線を使用します。空気を温めるのではなく、エネルギーを直接対象物に照射します。風も渦もなく、必要な場所だけが温まります。
正確な温度制御 デジタル製造ではデータの処理が重要です。赤外線を使えば、大きなオーブンが温まるのを1時間も待つ必要はありません。このランプは数秒で最適な温度に到達します。 これらをPID制御システムに接続することで、基板全体に均一で安定した温度分布が得られます。廃棄率が減少するのは大変嬉しいことです。
クリーンルーム向けの設計 ファブでは、「十分な性能のハードウェア」では不十分です。わずかな塗膜の剥がれやガスの放出でも、全ての製品がダメになってしまいます。 そのため、高純度の石英や、劣化しないコーティングを使用します。また、非常にコンパクトで、ロボットアームや搬送レールの間の狭い隙間にも簡単に設置できます。
注意点（必ずあるものです） 問題は、大量のエネルギーを狭い空間に閉じ込めると、場所が非常に熱くなることです。 高ワット数のランプを使う場合、放熱や電子機器の冷却を怠ると、センサーが破壊されてしまいます。バランスを取る必要があります。施設のHVACシステムが発生する熱量を処理できるかどうかを確認する必要があります。 結局のところ、これは単にヒーターを交換するだけの話ではありません。熱を他のデジタル変数と同様に扱うことが重要です。センサーからの情報に基づいて、リアルタイムで制御し、即座に調整できるのです。そうすることで、生産ラインの効率が向上します。