なぜ真空状態での赤外線加熱が最適なのか
真空状態ではウェーハを清潔に保つのは非常に難しい。わずかな汚染でも、生産効率が低下してしまいます。そのため、私たちは古くて非効率的な抵抗加熱器を使うのをやめ、真空環境に適した赤外線加熱器を採用しています。 これはより効率的な方法であり、大量のエネルギーの無駄遣いを防ぐことで地球環境にも貢献します。
真空状態での加熱のコツ
真空状態では対流は起こりません。したがって、放射熱に頼るしかありません。 鋼製のチャンバ全体を暖めようとするのは、まるで一杯のコーヒーを温めるために部屋全体を温めるようなものです。一方、赤外線加熱器は高密度のエネルギーを直接基板に送り込みます。 的を絞った加熱です。これにより、機械の壁面に無駄なエネルギーが流れることがなくなり、電力代も削減され、ウェーハに必要なだけの熱が与えられます。
清潔さと冷却の維持
汚染は大敵です。ガスの発生を防ぐために、高純度の石英製のケースや、真空環境向けに特別に作られたフィラメントを使用します。規格に合わない素材を使うと、不純物が混入して製品の品質が悪化してしまいます。 私たちは短波長の赤外線照射装置を使用しています。これにより、材料をより速く加熱できます。 ただし、注意点があります。ランプの端子部分が非常に熱くなるため、十分な冷却機能が必要です。そうでないと、ブラケットが変形したり、配線が焼損したりしてしまいます。これは良いことではありません。
炭素排出量を減らしつつ、生産性を維持
ここでの大きな利点は速度です。 抵抗加熱器は遅く、温度を上げるのに時間がかかり、冷却にも時間がかかります。一方、赤外線加熱器は数分で済みます。 このため、機械が無駄に動いている時間が大幅に減ります。1単位あたりの消費電力も大幅に削減されます。これは、生産ラインの速度を落とすことなく、クリーンルームをより環境に優しいものにする簡単な方法です。 古い加熱要素を使っていて、どうやって脱炭素目標を達成しようか悩んでいるなら、それらを交換すればいいのです。これは非常にシンプルな解決策です。