無駄なエネルギーの消費をやめよう：なぜ金コーティングされた反射板が優れているのか
シリコンウェーハを加熱する際には、1ワットというエネルギーも無駄にしてはいけません。しかし問題は、一般的なIRランプではエネルギーがあちこちに散らばってしまうことです。その結果、基板に届くエネルギーよりも、むしろ装置の筐体が温められてしまいます。これは電力や時間の無駄遣いです。
私たちは、反射板に高純度の金コーティングを施すことでこの問題を解決しました。これにより、エネルギーは本来あるべき場所、つまり直接ウェーハに向かって送られます。
なぜ金なのか？
それは赤外線スペクトルの物理的特性によるものです。アルミニウム製の反射板も一般的ですが、温度が上がると効率が低下してしまいます。一方、金は広範囲の赤外線波長においても高い反射率を維持します。これにより、放射エネルギーを集中させることができます。その結果、ウェーハ表面により強い熱が与えられますが、実際には電源からより多くのエネルギーを取り出すわけではありません。単により効率的なのです。
熱のバランスを取る
ここでの目標は、放射エネルギーを「効果的」に使うことです。金コーティングされた反射板の焦点を調整することで、エネルギーが均等にウェーハに当たるようにします。
適切に調整しなければ、局所的に過度な熱が発生し、ウェーハが変形したり、ドーパントの機能が損なわれたりする可能性があります。
ただし注意が必要です。このような集中処理によって局所的に非常に高い温度が発生します。そのため、冷却システムがそれに対応できるかどうかを確認する必要があります。もしウェーハから反射される熱やランプの内部で蓄積される熱が逃げ場を持たなければ、ランプのフィラメントがすぐに破壊されてしまいます。
実際に使用する方法
最良な点は、これらの装置が通常のIRアレイとほぼ同じ形状であるため、既存の真空チャンバーや大気中のチャンバーに簡単に取り付けられることです。
金コーティングを使用すれば、目標温度に到達するまでの時間が短縮されます。また、エネルギーの損失を補うためにランプを過剰に動作させる必要もなくなります。