無駄なエネルギーの消費をやめよう：なぜ金コーティングされた反射板が優れているのか シリコンウェーハを加熱する際には、1ワットというエネルギーも無駄にしてはいけません。しかし問題は、一般的なIRランプではエネルギーがあちこちに散らばってしまうことです。その結果、基板に届くエネルギーよりも、むしろ装置...

IRランプがウェーハを破壊するのを防ぎましょう。 高負荷の半導体製造環境において、IRランプが故障すると、それは単なる生産停止の問題に留まりません。まさに悪夢です。 石英管が破裂すると、ガラスの破片やタングステンフィラメントが直接ウェーハの上に降り注ぎます。めちゃくちゃな状態になり、費用も莫大にか...

無駄なエネルギーの浪費をやめましょう：なぜ金メッキされたIRセンサーが優れているのか 半導体ウェーハを処理する際、エネルギーの無駄遣いは単なるコストの問題だけではありません。それは設計上の欠陥と言えます。 一般的なIRエミッターの動作原理を考えてみてください。その熱の大部分は後方に逃げてしまい、実...

リソグラフィーの工程において、フォトレジストのソフトベイク時に生じる0.5度程度のずれは、些細な問題ではありません。それは線幅の変動や溶剤の残留、歩留まりの低下として現れ、どんな監査でもその原因を特定することはできません。私たちは、このような不確実性を排除するために、IRソフトベイクモジュールを開...