수소 센서를 항상 깨끗하게 유지하기
클래스 100급 청정실에서 작업할 때면, 아주 작은 먼지 한 방울이나 히터에서 나오는 가스만으로도 전체 제품이 망가질 수 있다는 사실을 잘 알고 계실 것입니다. 정말 짜증나는 일이죠. 몇 시간 동안 센서를 관리해놓았는데, 히터의 문제로 인해 센서의 민감도가 떨어지는 경우도 있습니다.
그래서 우리는 고순도의 석영 IR 램프를 사용합니다.
왜 석영이 효과적인가?
대부분의 히터는 합금이나 세라믹을 사용합니다. 문제는, 이러한 재료들이 열을 받으면 입자가 떨어지거나 가스가 방출된다는 것입니다. 오염을 완전히 없애고 싶다면 이는 좋지 않은 상황입니다.
우리는 대신 융합된 규산을 사용합니다. 이 재료는 열에 매우 강합니다. 온도가 급격히 변해도 균열이 생기지 않으며, 입자도 떨어지지 않습니다. 게다가 IR 방사선은 직접 기판 속으로 들어갑니다. 따라서 공기를 이용해 열을 전달할 필요가 없어서, 작업 공간에 먼지가 퍼지는 일도 없습니다.
실제 환경에 최적화된 설계
우리는 이 램프들이 그냥 잘 작동하도록 설계했습니다. 기존의 제조 라인에 바로 연결될 수 있도록 만들어졌습니다. 석영 케이스는 연마 처리되어 표면이 매끄럽습니다. 불규칙한 부분도 없어서 오염물질이 숨을 곳도 없습니다. 또한 저품질의 수지나 접착제도 사용하지 않았습니다. 모든 부분이 진공 상태로 밀폐되어 있습니다.
가장 좋은 점은, 매우 정확한 열 분포를 얻을 수 있다는 것입니다. 센서 웨이퍼의 정확한 위치에 열을 가할 수 있어서, 주변 부분이 손상되는 일이 없습니다.
유의해야 할 몇 가지 사항
석영은 훌륭한 재료이지만, 날카롭기도 합니다. 열에는 견딜 수 있지만, 충격에는 견디지 못합니다. 만약 떨어뜨리거나 무언가에 부딪히면 파손될 수 있습니다. 그러니 마운팅 브래킷에 반동을 흡수할 수 있는 장치가 있도록 해야 합니다.
또한, 경화 속도를 높이기 위해 높은 전력을 사용한다면, 냉각 시스템에도 주의해야 합니다. 램프의 끝부분이 너무 뜨거워지면 와이어가 손상될 수 있습니다.
더욱 편리하게 사용할 수 있도록, 저희는 정밀하게 맞춰진 연결부를 제공합니다. 이렇게 하면 설치할 때 표면이 긁히는 일도 없습니다.