Mengapa Fab Pintar Anda Perlu Sistem Pemanasan Inframerah
Jika anda sedang merancang sebuah fab pintar, anda pasti sudah menyedari bahawa kaedah pemanasan konvensional yang digunakan sebelum ini sudah tidak lagi efektif. Kaedah ini terlalu perlahan. Selain itu, pergerakan udara di dalam bilik bersih boleh menyebabkan masalah – anda tentu tidak mahu zarah-zarah kotor berterbangan di atas wafer tersebut.
Itulah sebabnya kita menggunakan sistem pemanasan inframerah berfrekuensi rendah. Dengan cara ini, tenaga dipancarkan terus ke permukaan objek yang ingin dipanaskan. Tiada angin atau aliran udara yang berlaku; haba hanya diberikan di tempat yang diperlukan sahaja.
Mendapatkan suhu yang tepat
Dalam proses pengeluaran digital, data memainkan peranan penting. Dengan sistem pemanasan inframerah, anda tidak perlu menunggu selama satu jam agar ketuhar panas sepenuhnya. Lampu-lampu ini dapat mencapai suhu maksimum dalam beberapa saat sahaja.
Kita boleh menghubungkan lampu-lampu ini terus ke sistem PID. Hasilnya ialah suhu yang sama rata di seluruh permukaan substrat. Ini sangat membantu untuk mengurangkan kadar bahan buangan yang dihasilkan.
Reka bentuk yang sesuai untuk bilik bersih
Dalam fasiliti pengeluaran, peralatan yang “cukup baik” sebenarnya merupakan bencana. Sebuah zarah kecil dari lapisan pelindung atau gas yang terlepas pun boleh merosakkan keseluruhan produk yang dihasilkan.
Oleh itu, kita menggunakan kuarsa berkualiti tinggi serta lapisan pelindung yang tahan lasak. Bahan-bahan ini juga sangat kompak. Ia mudah dipasang di celah-celah antara lengan robot dan landasan pengangkutan tanpa menyebabkan sebarang masalah.
Kelemahan sistem ini
Masalahnya ialah apabila tenaga yang banyak disalurkan ke ruang yang kecil, suhu akan menjadi sangat tinggi. Jika anda menggunakan lampu berkuasa tinggi tetapi tidak memastikan sistem penyejukan yang efektif, sensor-sensor anda akan rosak. Ia memerlukan keseimbangan yang tepat. Anda perlu memastikan sistem HVAC di fasiliti tersebut mampu menangani aliran haba yang dihasilkan.
Pada akhirnya, ini bukan sekadar soal menggantikan pemanas biasa. Ia melibatkan penggunaan tenaga haba seperti variabel digital yang lain. Anda boleh mengawal suhu secara masa nyata dan membuat penyesuaian segera berdasarkan data yang diberikan oleh sensor-sensor tersebut. Ini akan membantu menjadikan proses pengeluaran lebih efisien.