Mengurangkan Penggunaan Karbon dalam Proses Pengeringan Wafer MEMS
Kami telah menggantikan ketuhar konvensional yang lama dan tidak cekap itu dengan lampu pemanas inframerah semasa proses pengeringan wafer sensor MEMS. Tujuannya sangat jelas: mempercepatkan proses pengeringan wafer agar air dapat disingkirkan dengan lebih cepat, sekaligus mengurangkan penggunaan tenaga.
Jika anda pernah bekerja di kilang pembuatan, anda pasti tahu betapa banyak tenaga yang diperlukan untuk memanaskan udara dalam kuantiti yang besar hanya untuk mengeringkan sekeping silikon yang kecil. Ini merupakan pembaziran tenaga. Dengan beralih kepada kaedah “Pabrik Hijau”, kita dapat mengelakkan pembaziran tenaga tersebut.
Bagaimana lampu inframerah berfungsi
Bayangkanlah begini: cara pengeringan tradisional akan memanaskan seluruh bilik. Namun, lampu inframerah hanya memanaskan wafer sahaja. Kami menggunakan lampu inframerah berfrekuensi rendah kerana ia mampu menembusi lapisan kelembapan dengan cepat, sehingga proses penguapan berlaku dengan segera. Ini membolehkan masa yang diperlukan untuk proses pengeringan dikurangkan daripada minit kepada beberapa saat sahaja. Selain itu, lampu ini hanya menggunakan tenaga apabila benar-benar berfungsi. Tidak perlu lagi membayar kos untuk memanaskan peralatan yang tidak digunakan sepanjang hari.
Cabaran-cabaran yang perlu dihadapi
Ia bukanlah sesuatu yang mudah. Untuk mendapatkan kepadatan haba yang diperlukan untuk proses pengeringan MEMS, kami perlu menggunakan lampu kuarsa berkuasa tinggi. Lampu-lampu ini perlu sangat tahan lama, kerana ia perlu beroperasi dalam suhu yang sangat tinggi secara berulang-ulang tanpa retak. Kami juga menggunakan lapisan khas agar haba hanya sampai ke wafer, bukan ke badan peralatan. Anda tentu tidak mahu peralatan anda cair semasa proses pengeringan berlangsung.
Selain itu, perlu berhati-hati dengan arus elektrik yang dihasilkan oleh lampu inframerah ini. Jika panel elektrik anda tidak cukup kuat untuk menanggung arus tersebut, pemutus litar akan terputus sepanjang masa. Masalah lain ialah “titik panas”. Jika lampu tersebut tidak diposisikan dengan betul, proses pengeringan akan menjadi tidak sekata. Kami telah menyelesaikan masalah ini dengan mengubah bentuk reflektor agar haba dapat tersebar secara merata di permukaan wafer yang berukuran 200mm atau 300mm.
Mengapa ini penting untuk planet kita
Pada akhirnya, ini berkaitan dengan jejak karbon. Dengan mengurangkan penggunaan tenaga untuk setiap wafer, kita dapat mengurangkan pelepasan karbon. Kita tidak perlu lagi menggunakan sistem ventilasi yang besar untuk mengeluarkan udara panas yang terbuang. Kurang tenaga digunakan, kurang juga CO2 yang dihasilkan. Ini merupakan cara yang mudah dan efektif untuk menjadikan proses pengeringan dalam proses PEMS lebih bersih.