
Mengawal jarak yang tepat: Pemanasan wafer menggunakan cahaya inframerah
Dalam pengeluaran semikonduktor, kami menggunakan lampu inframerah berfrekuensi rendah untuk mencapai suhu yang diinginkan dengan tepat. Cara ini jauh lebih baik daripada menggunakan ketuhar konvensional, kerana ketuhar konvensional hanya akan membuang tenaga secara sia-sia. Namun, jika anda ingin memiliki kilang yang lebih mesra alam dan mengurangkan jejak karbonnya, anda perlu menentukan jarak yang tepat antara lampu tersebut dengan wafer.
Kepentingan jarak tersebut
Bukan sekadar memastikan tiub kuarz tidak bersentuhan dengan wafer sahaja. Yang penting ialah cara haba bergerak. Jika lampu dipasang terlalu dekat, ia akan menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu panas, sehingga wafer boleh rosak atau substratnya musnah sepenuhnya. Sebaliknya, jika lampu dipasang terlalu jauh, dinding bilik pemanasan akan menjadi terlalu panas. Ini merupakan pembaziran tenaga dan mengurangkan kecekapan proses pengeluaran.
Kami biasanya menentukan jarak ini dengan melihat kuasa lampu serta suhu yang diinginkan. Oleh kerana cahaya inframerah berfrekuensi rendah dapat memanaskan permukaan dengan cepat, kita boleh mengekalkan zon pemanasan pada jarak yang sesuai.
Mengurangkan penggunaan tenaga
Jika anda ingin memiliki kilang yang mesra alam, anda perlu mengelakkan pembaziran tenaga ketika mesin berada dalam keadaan tidak aktif. Inilah kelebihan lampu inframerah – ia dapat berfungsi dengan cepat. Anda tidak perlu membiarkan sistem beroperasi pada suhu tinggi sepanjang masa hanya untuk bersiap sedia untuk sesi pengeluaran seterusnya.
Kami menggabungkan lampu ini dengan pengawal PID berlitar tertutup. Dengan menyesuaikan jarak yang sesuai dan mengawal kuasa yang digunakan, kita dapat memastikan operasi berjalan lancar tanpa pembaziran tenaga.
Kompromi yang perlu dipertimbangkan
Ini merupakan aspek yang agak rumit. Lampu berkuasa tinggi sangat berguna untuk proses pengeluaran yang memerlukan kelajuan tinggi. Namun, ia juga menimbulkan masalah. Semakin tinggi kepadatan haba, semakin sukar sistem penyejukan untuk mengekalkan suhu yang stabil.
Dan tahukah anda? Jika anda cuba meningkatkan kuasa lampu untuk mengatasi masalah jarak yang terlalu besar, lampu tersebut tidak akan bertahan lama. Anda perlu menggantinya kerap.
Langkah yang terbaik ialah memastikan kapasiti penyejukan anda mencukupi sebelum menyesuaikan jarak tersebut.