Islak işlem istasyonundan bir waferin nasıl çıktığını izleyin. Eğer kurutma lambası yeterince etkili değilse, ortamda nem kalır ve böylece fotoresist tabakası zarar görür. Bu durumda üretim verimi düşer. Biz de bu sorunu önlemek için güneş pili waferlerini kurutmak için özel bir lamba tasarladık.
Burada önemli olan şeyler şunlardır: Cihaz, hızlı ve homojen bir ısıtma sağlamak için NIR ışık kaynaklarından yararlanır; böylece wafer kururken substrat zarar görmez. Wafer üzerindeki sıcaklık homojenliği ±0,1°C arasında kalır; böylece her parti için “yumuşak pişirme” ve “sert pişirme” işlemleri tutarlı kalır. Cihaz, Parti 1–100 sınıfı temiz odalarda çalışabilir ve parça üretiminde herhangi bir artışa neden olmaz. Böylece hata sayısı kontrol altında kalır. Tekrarlanabilir bir kontrol sistemi ve güvenilir bir çalışma süresi elde edilir; ayrıca cihaz 5.000 saat boyunca stabilitenini korur.
Üretim sürecinde termal bütçe oldukça kısıtlıdır. Bu lamba, ince filmleri ve pasivasyon katmanlarını bozmadan hızlı bir şekilde kurutma işlemi gerçekleştirir. Bunun sonucunda döngü süreleri kısalar, enerji tüketimi azalır ve tekrar işlemler gereksiz hale gelir. Paketleme aşamasında da aynı hassasiyet sayesinde nemle ilgili hatalar azalır ve üretim sürecinde daha fazla esneklik sağlanır. Üretim verimi öngörülebilir kalır ve vardiya değiştiğinde bile üretim süreci değişmez.
Birkaç pratik not: Lambanın özel ve temiz bir elektrik beslemesine ihtiyacı vardır ve lambanın etrafındaki ısı yönetimi de dikkatli yapılmalıdır. En iyi performansı kontrollü ortamlarda gösterir; ortamın nemi %70’in üzerine çıkarsa kurutma süresi uzar. Bu durumu cihaz seviyesinde giderebilirsiniz. Mevcut ıslak işlem istasyonuna monte etmek oldukça kolaydır; ancak sipariş vermeden önce konektör tipini ve voltajını mutlaka kontrol edin.