На лінії FO-WLP саме на етапі випалювання відбувається зниження якості продукції. Недостатньо інтенсивне випалювання при температурі, яка на 2°C нижча за необхідну, може порушити параметри фотополімеру. Якщо ж використовувати занадто високу температуру, це призведе до утворення порожнин та деформації поверхні пластини. Потрібно підтримувати теплову однорідність на всій поверхні пластини протягом усього процесу обробки.
Що має значення з технічної точки зору
Ми створили нагрівач для випалювальних печей та гарячих плат, які знаходяться між процесами літографії та формування корпусу чипа. Емітери короткохвильового халогену забезпечують швидку та пряму реакцію; крім того, ми підтримуємо однорідність температури на рівні ±0,1°C на всій активній поверхні пластини. Корпус нагрівача виготовлений з кварцу та високочистотної кераміки, тож кількість частинок у чистих приміщеннях класу 1–100 залишається мінімальною.
Повторюваність температури становить ±0,2°C, тож параметри процесу випалювання залишаються в межах допусків. Керування відбувається за допомогою системи PID; крім того, є можливість контролю параметрів через стандарт SECS/GEM. Це дозволяє точно контролювати значення температури, швидкість нагрівання та час процесу.
Чому це ефективно для технології FO-WLP
У технології FO-WLP чипи складаються в один корпус, а потім параметри входу/виходу перерозподіляються. Тепловий баланс є дуже важливим: необхідно забезпечити правильну активацію фотополімеру без спричинення міграції міді чи напруги, пов’язаної з коефіцієнтом теплового розширення. Нагрівач дозволяє точно контролювати температуру під час процесу випалювання, що покращує якість продукції та зменшує ризик утворення дефектів.
Висока однорідність температури зменшує кількість продукції з дефектами на краях поверхні пластини, а повторюваність процесу скорочує час його виконання. Витрати енергії знижуються через те, що нагрівач працює лише тоді, коли це необхідно, з мінімальною кількістю теплової енергії. Нагрівач призначений для цілодобової роботи, з урахуванням планового технічного обслуговування, а не неспланованих простоїв.
Кілька практичних порад
Нагрівач підходить для більшості платформ типу FO-WLP, але його інтеграція залежить від механічних характеристик, системи вакуумного захоплення та маршрутів відводу повітря. Необхідно підібрати відповідну напругу та тип роз’єму для вашого обладнання. Після заміни лампи потрібен короткий період стабілізації – його слід включити до списку планового обслуговування, щоб параметри процесу залишалися в межах допусків.