Як скоротити викиди вуглецю під час обробки напівпровідникових пластин: чому вакуумні інфрачервоні системи дійсно ефективні Будемо чесні: традиційні нагрівальні установки є дуже енергозатратними. Вони витрачають величезну кількість енергії на нагрівання всієї камери – стін тощо – лише для того, щоб досягти потрібної температури пластини. Це схоже на нагрівання всього будинку лише для того, щоб нагріти одну чашку кави. Це марнотратство, а з урахуванням все більш суворих правил щодо „зелених заводів“, це стає справжньою проблемою. Саме тут на допомогу приходять вакуумні інфрачервоні системи. Замість нагрівання всієї камери ми просто нагріваємо саму пластину. Як це відбувається з фізичної точки зору У вакуумі процес конвекції не відбувається. Ми покладаємося виключно на випромінювання. Ми налаштовуємо ці системи так, щоб вони випромінювали саме ті довжини хвиль, які люблять поглинати кремній чи нітрид галію. Оскільки енергія потрапляє безпосередньо в матеріал пластини, не витрачаючись на нагрівання стін камери, споживання енергії значно знижується. Цей процес відбувається дуже швидко. Час підготовки до роботи скорочується, а також кількість енергії, яка витрачається на обробку однієї партії продукції, значно зменшується. Це просто логічно. Хардверна составляющая Ми виготовляємо ці лампи з кварцу високої чистоти та вольфрамових філаментів. Але оскільки вони знаходяться у вакуумі, нам необхідно дуже ретельно контролювати герметичність. Якщо відбувається витік газів, це призводить до забруднення пластини. Ніхто не хоче, щоб пластина була пошкоджена. Однак існує певний компроміс: ми поміщаємо велику кількість енергії в невеликий простір. Це створює значний тиск на системи живлення. Якщо ви працюєте на повну потужність, необхідно переконатися, що системи охолодження справні. Інакше може статися пошкодження корпусу лампи, що є серйозною проблемою. Висновок Перехід на вакуумні інфрачервоні системи означає, що ви можете відмовитися від використання великих нагрівальних елементів, які залишаються гарячими протягом годин після закінчення роботи. Тепер система споживає багато енергії лише тоді, коли фактично нагріває пластину. Для багатьох систем це просто заміна старих теплових елементів. Ви отримуєте більшу продуктивність та менші витрати на енергію. Тільки пам’ятайте: переконайтеся, що ваші вакуумні насоси можуть витримати такий тепловий навантаження, щоб не пошкодити герметичність системи.