
为什么智能制造工厂需要红外加热技术
如果您正在规划一个智能制造工厂,那么您一定已经意识到,传统的对流式加热方式已经不够用了。它的升温速度太慢。此外,在洁净室中让空气流动其实只会带来麻烦——因为那样做会让灰尘颗粒在晶圆表面飘动。
因此,我们选择了短波红外线加热技术。这种技术可以直接将能量传递到目标物体上,而不需要加热空气。没有风,也没有气流,热量只会出现在需要的地方。
精确控制温度
数字化生产依赖于精准的数据控制。使用红外线加热后,就无需等待漫长的时间来让大型烤箱升温了。这些红外线灯能在几秒钟内达到最佳工作状态。我们将它们接入PID控制系统,这样就能在整个基板上实现均匀且稳定的温度分布。当废品率开始下降时,那真是件令人欣慰的事。
适应洁净室环境
在制造工厂里,质量稍差的硬件就会导致严重后果。哪怕是一点点的涂层脱落或气体泄漏,都可能毁掉整批产品。因此,我们必须使用高纯度的石英材料以及能够承受高强度使用而不会退化的涂层。这些材料还非常小巧,可以轻松安装在机械臂和输送轨道之间的狭窄空间里,而不会造成任何问题。
注意事项(因为总会有些问题)
问题是:当如此多的能量被集中到一个小空间里时,温度会变得非常高。如果使用高功率的加热装置,却忽视了散热问题,那么传感器很可能会被烧坏。因此,必须确保工厂的暖通空调系统能够处理这么高的热量。归根结底,这不仅仅是更换加热器的问题,而是要将热量视为另一种数字变量来处理。通过实时监控传感器的数据,就可以进行即时调整,从而让整个生产流程更加高效。