为何真空红外加热是理想的解决方案
在真空中保持晶圆的清洁其实是一件很麻烦的事。哪怕有那么一点点污染，都会导致产量下降。正因如此，我们才逐渐放弃那些效率低下的传统电阻式加热炉，转而使用适合真空环境的红外加热器。 这是一种更高效的工作方式，同时还能减少大量能源的浪费，从而为地球环保做出贡献。
真空环境中的加热原理
在真空中，对流现象并不存在，只能依靠辐射来传递热量。与其试图加热整个钢制腔体——这就好比为了加热一杯咖啡而让整个房间都变热一样——我们的红外加热系统则能将高密度的能量直接传递到被加热的物体上。 这样就能精准地控制热量，避免不必要的能源浪费，从而降低用电成本，同时确保晶圆获得所需的热量。
保持清洁与低温状态
污染是最大的威胁。为避免气体泄漏，我们会使用高纯度的石英材料以及专为真空环境设计的灯丝。如果使用不符合标准的材料，就很容易让杂质破坏产品质量。 我们选择短波红外发射器，因为它们能够更快地穿透材料。不过需要注意的是，这类灯的端子温度非常高。如果冷却系统不够强大，就可能会导致支架变形或电线烧毁。这显然不是什么好事。
减少碳排放，同时保持生产效率
最大的好处就是速度。传统电阻式加热炉需要数小时才能达到工作温度，同样也需要数小时才能冷却下来。而红外加热系统则只需几分钟就能完成同样的工作。 这样一来，机器就不必浪费时间闲置着了。从每单位的能耗来看，其降幅相当显著。这是一种简单有效的办法，既能实现绿色生产，又不会影响生产效率。 如果你正在考虑如何实现碳减排目标，那就把现有的加热元件换成这种红外加热器吧。这是个非常简单的解决方案。