ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়ায় কার্বন নির্মূল: আইআর হিটিং কেন কার্যকর?
সত্যি বলতে, সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়াগুলো অত্যন্ত শক্তি-খরচী। পুরানো ধরনের ক্লিন রুম সিস্টেমগুলো রেজিস্টিভ হিটিং বা থার্মাল সিস্টেমের উপর নির্ভর করে; এগুলো তাপকে বাতাসে ছড়িয়ে দেয়। এটা অপচয়। এই কারণেই আরও বেশি মানুষ SWIR ল্যাম্প সিস্টেম ব্যবহার করছেন।
প্রকৃতিবিজ্ঞানের দৃষ্টিকোণ থেকে দেখলে, সাধারণ কনভেকশন হিটিং পদ্ধতিটি ধীর। এটা শুধুমাত্র বাতাসকে উত্তপ্ত করার চেষ্টা করে। অন্যদিকে IR সিস্টেমগুলো মধ্যবর্তী পদ্ধতিগুলো বাদ দিয়ে সরাসরি শক্তি সরবরাহ করে। ফলে HVAC সিস্টেমকে অতিরিক্ত পরিশ্রম করতে হয় না; এর ফলে প্রতি ওয়েফারের জন্য প্রয়োজনীয় শক্তির পরিমাণ কমে যায়।
কিন্তু এগুলো সরাসরি ব্যবহার করা যায় না। এগুলো ব্যবহার করার সময় কুলিং সিস্টেমকে যথাযথভাবে কাজ করানো দরকার। যদি ফ্যান বা চিলড ওয়াটার সিস্টেমগুলো যথাযথভাবে কাজ না করে, তাহলে সিস্টেমটি অতিরিক্ত তাপে নষ্ট হয়ে যেতে পারে।
আর যদি আপনি কোনো ফ্যাক্টরিতে কাজ করে থাকেন, তাহলে আপনি জানবেন যে “ড্রপ-ইন রিপ্লেসমেন্ট” বলে কিছু নেই। সাধারণত ল্যাম্পের ভোল্টেজ ম্যানেজ করার জন্য কন্ট্রোল প্যানেলগুলো পুনর্নির্মাণ করতে হয়। আমি সবসময় ফাস্ট-রেসপন্স থার্মোকাপলসহ PID কন্ট্রোলার ব্যবহার করার পরামর্শ দিই। যদি ফিডব্যাক লুপটি ধীর হয়, তাহলে IR রেজিস্ট্যান্সটি লক্ষ্যমাত্রার বাইরে চলে যেতে পারে; ফলে ওয়েফারগুলো নষ্ট হয়ে যেতে পারে।
সব মিলিয়ে, IR সিস্টেম ব্যবহার করাই হলো কার্বন নির্মূলের সবচেয়ে সহজ উপায়। এর ফলে প্রক্রিয়ার সময় কমে যায়, আর HVAC সিস্টেমে অপচয়ও কমে যায়। ফলে কারখানাটি আরও টেকসই হয়, আর উৎপাদন ক্ষমতাও কমে যায় না।