On the backend line, lead-free solder reflow lives and dies by a repeatable thermal profile. Wafer-level accuracy isn’t optional—a few degrees of drift will move bump height, shift registration, and knock yield right off spec. We built our lead-free solder wafer preheater to live in that reality.
Was unter der Haube zählt
Sie erhalten eine thermische Gleichmäßigkeit auf Wafer-Ebene von ±0,1°C, mit NIR-Heizung, die Energie direkt und schnell in das Substrat einleitet. Die Kompatibilität mit Reinraumklasse 1–100 ergibt sich aus versiegelten Quarzbauteilen und einem luftstromoptimierten Weg mit niedriger Partikelzahl, sodass die Partikelkonzentration selbst bei langen Durchläufen konstant bleibt. Auch der Photoresist bleibt stabil: Soft-Bake- und Hard-Bake-Profile sind konstant, und die Temperaturwiederholgenauigkeit ist so eng, dass Overlay- und CD-Kontrolle über Ätz- und Lithografiestapel hinweg gewährleistet sind. Im Feldbetrieb läuft das System 24/7 ohne ungeplante Ausfallzeiten, und die Closed-Loop-Regelung passt den Energieverbrauch an die thermische Last an.
Why this step matters in packaging
Im Advanced Packaging bestimmt der Vorheizschritt das thermische Budget vor dem Reflow. Wird das Vorheizen konsistent gehalten, reduziert das Hohlräume, kontrolliert Verzug und sichert die Zuverlässigkeit der Lötverbindung. Die Zykluszeiten verkürzen sich, ohne dass die Profilkontrolle leidet, und es entstehen keine Abweichungen durch Hotspots oder langsame Temperaturanstiege. Das System lässt sich in Standard-Workflows integrieren, wodurch sich Prozessfenster verengen, Ausschuss reduziert und Nacharbeiten minimiert werden.
What you need to make it sing
Der Vorheizer benötigt einen eigenen Stromkreis und eine verifizierte Abgasführung. Die Spitzenleistung hängt von stabiler Zulufttemperatur und -druck ab. Er ist kompatibel mit den meisten Handlern und Bondern, bei Integration in eine Bestandslinie sollte jedoch eine kurze Schnittstellenprüfung eingeplant werden. Für die Inbetriebnahme sind zwei Stunden einzuplanen, anschließend wird die erste Qualifikationscharge gefahren, um das Profil festzulegen.