Temperatursensor für Wafer Werkzeuge
Wie man verhindert, dass die Werkzeuge explodieren
Seien wir ehrlich: In diesem Beruf reicht bereits ein winziger Funken aus, um ganze Chargen an...
Temperatur für die sanfte Erhitzung des Fotorezists im IR Bereich
Im Bereich der Lithografie ist eine Abweichung von einem halben Grad beim Weichbrennvorgang des Photoresists keine unbedeutende Einzelheit. Sie zeigt...