Limpieza del calor: Por qué las lámparas de infrarrojos sin ozono son la solución ideal
Lograr el nivel adecuado de calor en las fábricas de semiconductores es algo complicado. Por lo general, uno se ve obligado a elegir entre alcanzar los objetivos de temperatura o lidiar con problemas ambientales graves. Decidimos resolver este problema utilizando lámparas de infrarrojos sin ozono. Es una forma más sencilla de obtener el calor necesario, sin todos esos problemas adicionales.
El problema con la luz “estándar”
La mayoría de las lámparas de infrarrojos de onda corta emiten radiación en el rango de 185 nm a 254 nm. Puede parecer un detalle técnico insignificante, pero en realidad es un problema. Esa luz convierte el oxígeno presente en el aire en ozono.
El ozono es algo muy perjudicial: es un gas de efecto invernadero y daña los equipos utilizados en las salas limpias. No es nada bueno.
Para evitar esto, utilizamos envolturas de cuarzo especializadas y recubrimientos internos. Estos actúan como filtros, bloqueando esas longitudes de onda problemáticas. De esta manera, se obtiene toda la energía térmica necesaria para calentar o curar las obleas, pero se evita la formación de ozono desde el principio.
Potencia, velocidad y el problema del calor excesivo
Nos gusta utilizar grandes cantidades de energía en estas lámparas. ¿Por qué? Porque los arrayes de infrarrojos de alta densidad se calientan rápidamente. Esto significa que se gastan menos kilovatios por oblea, lo cual es beneficioso para todos. También configuramos estos sistemas para que respondan rápidamente, así no se superan accidentalmente los puntos de temperatura establecidos.
Pero hay un problema: cuando se introduce tanta energía en un espacio tan pequeño, el chasis sufre mucho. Si los ventiladores o disipadores de calor no son eficientes, habrá problemas. He visto esto suceder: si el flujo de aire es insuficiente, el equipo se sobrecalienta y la vida útil de la lámpara disminuye drásticamente. Es necesario asegurarse de que el sistema de enfriamiento funcione bien, de lo contrario, solo se está desperdiciando dinero.
¿Qué beneficios trae esto realmente?
Lo mejor de todo es lo que ocurre con el resto de la fábrica. Una vez que se utiliza tecnología sin ozono, se pueden eliminar esos sistemas complejos y costosos de filtrado de humos. Esto reduce enormemente la carga sobre los sistemas de climatización y disminuye el consumo total de energía de todo el edificio.
Es un cambio sencillo: se eliminan los equipos contaminantes antiguos, se instalan estos nuevos dispositivos, y se mantiene el rendimiento deseado, pero con una huella de carbono mucho menor.