در کارخانههای تولید، انحراف در دمای فر، صرفاً مشکلی مربوط به نگهداری تجهیزات نیست؛ بلکه باعث اختلال در فرآیندهای مختلفی مانند پختن و خشک کردن ویفرها میشود. برای حفظ یکپارچگی پروفایلهای تابشی و جلوگیری از نقصهای ناشی از خشک شدن ویفرها، لازم است که دمای فر در محدوده بسیار مشخصی باقی بماند. هرچه تجهیزات قدیمیتر شوند، این محدوده دمایی کوچکتر میشود و در نتیجه بازدهی تولید نیز کاهش مییابد.
آنچه در این فرآیند اهمیت دارد این است که ما تجهیزات جایگزینی را طوری طراحی میکنیم که بتواند در اتصالات حرارتی و مکانیکی تجهیزات اصلی جایگیری کند؛ همچنین، یکنواختی دمایی در سطح ویفرها باید در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد باشد و این تجهیزات باید با شرایط اتاقهای پاکسازی از کلاس ۱ تا ۱۰۰ سازگار باشند. پروفایلهای تابش در فرکانسهای کوتاه یا متوسط نیز باید متناسب با نیازهای تجهیزات اصلی تنظیم شوند. استفاده از قطعات کوارتزی و سرامیکی با اتصالات دربسته، باعث جلوگیری از تولید ذرات میشود. میزان توان و ولتاژ نیز باید متناسب با تجهیزات اصلی باشد؛ همچنین، نوع کانکتورها، محدودیتهای نصب و پاسخ حرارتی نیز باید متناسب با تجهیزات اصلی باشد.
دلیل موفقیت این روش در عمل این است که زمان انجام فرآیندها، پروفایلهای دمایی و عملکرد لیتوگرافی همانند تجهیزات اصلی باقی میماند؛ بنابراین نیازی به بازبینی کل ماژول نیست. میزان مصرف انرژی نیز در محدوده تجهیزات اصلی باقی میماند؛ همچنین، قابلیت اطمینان این تجهیزات در تمام ساعات روز و شب، به لطف کنترل دما، تضمین میشود. نتیجه این امر، کاهش مداخلات غیرمنتظره و کنترل بهتر ابعاد مهم در تولید است.
چند نکته مهم در مورد نصب این تجهیزات: باید کانکتورهای تجهیزات اصلی و تجهیزات جایگزین متناسب باشند؛ همچنین، باید موقعیت ترموکوپلها نیز بررسی شود. اگر جهت قرارگیری ترموکوپلها اشتباه باشد، پروفایلهای دمایی دچار انحراف خواهند شد. پس از جایگزینی تجهیزات، باید یک آزمایش کوتاه انجام شود تا تعداد ذرات در فضای خروجی بررسی شود. ما تجهیزات جایگزینی را به صورتی تحویل میدهیم که بتوان آنها را بدون نیاز به بازطراحی فرآیندها یا ابزارها، جایگزین تجهیزات اصلی کرد.