در کف بستهبندی
یک بخاری CSP که از کار میافتد، کل خط تولید را متوقف میکند. هر دقیقه از زمان غیرقابل پیشبینی به معنای دور ریختن ویفرها و از بین رفتن حاشیه است. ما بخاری CSP در سطح ویفر خود را طوری طراحی کردهایم که ۷×۲۴ بدون ایجاد خطا کار کند، زیرا وقتی به دنبال بازده هستید، زمان کار اولویت دارد.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد
ما یکنواختی حرارتی را در ±۰.۱°C در سراسر ویفر مشخص میکنیم، بنابراین هر بار پخت نرم و پخت سخت فوتورزیست در محدوده حرارتی قرار میگیرد—بدون انحراف در لبه. این دستگاه آماده کار در اتاق تمیز از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ است و هندسه بخاری به گونهای طراحی شده که تولید ذرات را به صفر میرساند. نیاز به تمیزکاری اضافی نیست. بدون افت بازده.
تکرارپذیری با یک پروفایل دمایی پایدار و بسته که نقاط تنظیم را در هر چرخه حفظ میکند، قفل شده است. برنامهریزی عمر خدماتی که به هزاران ساعت اندازهگیری میشود، نه هزار، با پنجرههای نگهداری که واقعاً میتوانید پیشبینی کنید.
چرا این در CSP سطح ویفر کار میکند
در CSP سطح ویفر، تکرارپذیری دما چیزی است که یکپارچگی پیوند، کنترل انحراف و عرضهای خط ثابت را به شما میدهد. شما میتوانید محدودیتهای مشخصات را بدون پیگیری انحراف تنگتر کنید.
مصرف انرژی کاهش مییابد زیرا بخاری به سرعت به نقطه تنظیم میرسد و سپس به صورت تمیز در حالت بیکار میماند. توقفهای غیرقابل پیشبینی کاهش مییابند زیرا واحد به طور مداوم بدون خستگی حرارتی یا خرابی نقاط داغ کار میکند. تعداد کمتری از دستههای بازسازی. شمارش ذرات پایدار. فرآیند در تغییر شیفت همانطور که در نیمه شب عمل میکند، رفتار میکند.
آنچه باید بدانید
نصب به معنای مطابقت با ابعاد اتاقک و تأیید سازگاری کانکتور است—ما نقشههای رابط و نقشه پین را ارائه میدهیم. بخاری تنها زمانی در محدوده مشخصات کار میکند که خروجی اتاقک و جریان خنککننده با شرایط نامگذاری شده مطابقت داشته باشد. تغییرات جریان هوا یکنواختی را تغییر میدهد.
اولین بررسی پیشگیرانه را در ۲,۰۰۰ ساعت تنظیم کنید تا کالیبراسیون دما و تمیزی را تأیید کنید. پس از آن، میتوانید فواصل را بر اساس دادههای انحراف اندازهگیری شده خود افزایش دهید.