Réduire la chaleur : pourquoi les lampes infrarouges sans ozone sont la solution idéale
Il est difficile d’atteindre précisément les températures désirées dans les usines de semi-conducteurs. En général, il faut choisir entre atteindre ces températures ou faire face à de gros problèmes liés à l’environnement. Nous avons décidé de résoudre ce problème en utilisant des lampes infrarouges sans ozone. C’est une façon plus simple d’obtenir la chaleur nécessaire, sans tous les inconvénients associés.
Le problème avec la lumière « standard »
La plupart des lampes infrarouges à ondes courtes émettent des rayonnements dans la gamme de 185 nm à 254 nm. Cela peut sembler être un détail technique insignifiant, mais en réalité, c’est un problème. Cette lumière transforme l’oxygène présent dans l’air en ozone. L’ozone est nocif : c’est un gaz à effet de serre qui endommage l’équipement des salles propres. Ce n’est pas idéal.
Pour éviter cela, nous utilisons des enveloppes en quartz spécialisées ainsi que des revêtements internes. Ils agissent comme des filtres, bloquant ces longueurs d’onde problématiques. Vous obtenez toujours toute l’énergie thermique nécessaire pour chauffer ou cuire vos wafers, mais l’ozone est empêché de se former dès le début.
Puissance, vitesse et problème de surchauffe
Nous aimons fournir beaucoup de puissance aux tubes infrarouges. Pourquoi ? Parce que ces dispositifs se réchauffent très rapidement. Cela signifie que vous consommez moins d’énergie par wafer, ce qui est avantageux pour tout le monde. De plus, ces systèmes sont conçus pour une réponse rapide, afin d’éviter que la température ne dépasse les limites souhaitées.
Mais il y a un problème : lorsqu’on met autant d’énergie dans un espace restreint, le châssis du dispositif est mis à rude épreuve. Si les ventilateurs ou les dissipateurs de chaleur ne suffisent pas, des problèmes surviennent. J’ai vu cela se produire : si le flux d’air est insuffisant, le dispositif surchauffe, et sa durée de vie diminue considérablement. Il faut donc bien gérer la refroidissement, sinon on gaspille de l’argent.
Quels sont les avantages réels ?
Le meilleur aspect, c’est ce qui se passe pour le reste de l’usine. Une fois que vous utilisez des lampes sans ozone, vous pouvez éliminer ces systèmes de traitement des gaz polluants. Cela réduit considérablement la charge sur le système de climatisation et diminue la consommation d’énergie totale du bâtiment. C’est un changement simple : on remplace les équipements polluants par ceux-ci, et on maintient un niveau de production optimal, avec une empreinte carbone bien moindre.