Comment tirer le meilleur parti de vos lampes de cuisson pour les wafer
soyons honnêtes : le gaspillage d’énergie dans une usine intelligente, c’est en fait du gaspillage d’argent. Lorsque vous cuisez des wafer, vous ne voulez pas que le châssis de la machine agisse comme un énorme radiateur. Vous voulez que l’énergie thermique atteigne directement la surface du substrat.
C’est pourquoi le réflecteur est en réalité la partie la plus importante de l’ensemble de la lampe.
Arrêtez de gaspiller la moitié de la chaleur produite
Si vous utilisez une lampe de cuisson sans réflecteur précis, vous perdez plus de 50 % de l’énergie produite. C’est un gaspillage inutile.
Nous concevons ces réflecteurs afin de diriger cette radiation infrarouge vers la surface du wafer. En fixant correctement le point focal, la chaleur se répartit uniformément sur toute la surface du wafer. Pas de points chauds indésirables, pas de déformation du silicium, et pas de problèmes liés à une cuisson inégale. C’est simple et efficace.
Les composants et la technologie
Selon la longueur d’onde que vous souhaitez utiliser, nous utilisons soit du aluminium de haute pureté, soit des substrats recouverts d’or. L’or est idéal pour les ondes infrarouges longues, tandis que l’aluminium poli est généralement utilisé pour les ondes courtes.
De plus, si vous travaillez dans un environnement Industry 4.0, ces lampes peuvent être intégrées dans des boîtiers modulaires. Cela permet de les remplacer facilement lorsque vous souhaitez étendre votre ligne de production.
De plus, vous pouvez connecter ces systèmes directement à votre PLC. Au lieu de deviner en fonction de la consommation d’énergie, vous pouvez utiliser des capteurs numériques pour connaître précisément quantité de chaleur qui atteint effectivement le wafer en temps réel.
Les défis et comment y remédier
Voici le problème : les surfaces à haute réflexivité sont très exigeantes. Un peu de poussière ou de vapeurs chimiques dans l’usine peut réduire drastiquement l’efficacité de la lampe. Il est donc nécessaire de respecter strictement un calendrier de nettoyage, ou d’utiliser un boîtier hermétique pour maintenir la surface propre. Si la surface devient sale, les temps de cuisson augmenteront. Pourquoi ? Parce que la lampe doit fonctionner à température plus élevée pour compenser l’énergie perdue. Cela met une pression inutile sur les sources d’énergie et accélère l’usure des lampes. Gardez-les propres, et elles continueront à fonctionner correctement.