क्लास 100 स्वच्छ कक्षों को वास्तव में स्वच्छ ही रखना आवश्यक है।
जब क्लास 100 वातावरण में वेफरों को गर्म किया जाता है, तो त्रुटि की कोई गुंजाइश ही नहीं होती। थोड़ा सा भी धूल या गैस भी पूरे उत्पादन को नष्ट कर सकती है। अधिकांश सामान्य हीटिंग तत्व ऐसे कार्यों के लिए उपयुक्त नहीं होते; क्योंकि ऐसे तत्वों से सूक्ष्म कण निकलते रहते हैं, जबकि ऐसे कणों की कोई आवश्यकता ही नहीं होती।
इसीलिए हम अपने इन्फ्रारेड लैंपों में उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज का ही उपयोग करते हैं। ऐसा करने से ऐसी समस्याओं से बचा जा सकता है।
क्वार्ट्ज क्यों महत्वपूर्ण है?
हम लगभग बिना किसी अशुद्धि के फ्यूज्ड सिलिका का ही उपयोग करते हैं। क्यों? क्योंकि उच्च तापमान पर सस्ती सामग्रियाँ हवा के साथ प्रतिक्रिया करने लगती हैं। ऐसे क्वार्ट्ज आवरण, हेलोजन चक्र को अंदर ही रखने में मदद करते हैं। इससे एक स्थिर प्रकाश स्रोत प्राप्त होता है, जिससे वायु की गुणवत्ता प्रभावित नहीं होती। बस इतना ही।
सही तापमान प्राप्त करना
ये लैंप शॉर्ट-वेव विकिरण का उपयोग करते हैं। इससे वेफर के चारों ओर की हवा को गर्म करने में समय बर्बाद नहीं होता; ऊर्जा सीधे ही वेफर की सतह पर पहुँच जाती है।
यह बहुत ही तेज़ है… लगभग तुरंत ही वांछित तापमान प्राप्त हो जाता है। लेकिन ध्यान रखें – ऊर्जा घनत्व बहुत ही अधिक होता है। अपने कूलिंग सिस्टम को ठीक रखें, वरना लंबे समय तक उपयोग करने से लैंप खराब हो सकता है।
इन्हें सेट करना
हमने कनेक्टरों को मानक रूप दिया है; इसलिए ये आपके मौजूदा सिस्टम में आसानी से फिट हो जाएँगे। हमने क्वार्ट्ज को दर्पण जैसी चमकदार सतह दी है… ऐसा करने से सतह पर कोई कण नहीं चिपक पाता।
इन्हें एक अच्छे PID कंट्रोलर के साथ उपयोग में लाएं… ऐसा करने से पूरे वेफर पर समान तापमान प्राप्त होगा।
सावधान रहें!
ध्यान रखें – उच्च-शुद्धता वाला क्वार्ट्ज बहुत ही नाजुक होता है। यह सामान्य काँच की तुलना में तापीय झटकों को बेहतर ढंग से सहन कर सकता है… लेकिन इसे कोई भी चोट नहीं पहुँच सकती। इंस्टॉलेशन के दौरान थोड़ी भी गलती होने पर क्वार्ट्ज टूट सकता है।
हमेशा दस्ताने पहनें… आपकी त्वचा से निकलने वाले तेल, काँच पर गर्म बिंदु बना देते हैं… जिससे लैंप जल्दी ही खराब हो सकता है।