अपने IR लैंपों को रोकें… ताकि वे आपके वेफरों को नष्ट न करें!
उच्च-लोड वाले सेमीकंडक्टर उपकरणों में, खराब हो जाने वाला IR लैंप केवल “बंद होने” की समस्या ही नहीं है… बल्कि यह एक बड़ी समस्या है।
जब क्वार्ट्ज ट्यूब टूट जाती है, तो काँच के टुकड़े एवं टंगस्टन फिलामेंट सीधे वेफरों पर गिर जाते हैं… यह बहुत ही खतरनाक स्थिति है, एवं इसकी लागत भी बहुत अधिक होती है। इसीलिए हम अपनी हीटिंग प्रणालियों को ऐसे ही डिज़ाइन करते हैं, ताकि ऐसी समस्याओं से बचा जा सके।
रिफ्लेक्टर ही इसका समाधान है।
हम उच्च शुद्धता वाले एल्यूमीनियम का उपयोग करते हैं… यह एक ही समय में कई कार्य करता है। पहले तो यह IR विकिरण को वापस वेफरों की ओर भेजता है… जिससे बिजली की लागत कम रहती है।
लेकिन सबसे महत्वपूर्ण बात यह है कि यह एक “ढाल” का काम भी करता है… अगर ट्यूब टूट जाती है, तो अधिकांश कचरा एल्यूमीनियम की गुहा में ही फंस जाता है… इससे ऊष्मा का प्रवाह नियंत्रित रहता है, एवं सुरक्षा भी सुनिश्चित होती है।
ऊष्मा का प्रबंधन
उच्च-वॉटेज वाले लैंप बहुत ही गर्म हो जाते हैं… अगर ठंडक प्रणाली पर्याप्त न हो, तो क्वार्ट्ज ट्यूब टूट जाएगी।
इसके लिए हम मजबूत क्वार्ट्ज ग्लास का उपयोग करते हैं… जो ऐसी स्थितियों का सामना कर सके। हम लैंपों की स्थापना के दौरान बहुत ही सावधानी बरतते हैं… अगर ट्यूब रिफ्लेक्टर से टकर जाती है, तो वहाँ गर्म बिंदु बन जाते हैं… और ऐसे गर्म बिंदु ही लैंप के खराब होने का कारण बनते हैं।
वास्तव में… कुछ भी 100% सुरक्षित नहीं है।
बेहतरीन रिफ्लेक्टर होने के बावजूद भी, आपको एक अच्छी क्लीन-रूम प्रणाली की आवश्यकता है… आपको लैंपों के उपयोग के समय पर भी ध्यान देना होगा।
जैसे-जैसे ट्यूब पुरानी होती जाती है, फिलामेंट पतला हो जाता है… ऐसी स्थिति में ट्यूब टूटने का जोखिम बढ़ जाता है। हम आमतौर पर 2,000 से 5,000 घंटों के बाद ही लैंपों को बदलने की सलाह देते हैं… यह तो बहुत ही आसान है… बजाय इसके कि ऑपरेशन के दौरान ही लैंप खराब हो जाए।
ओह… और अपने फ्यूजों की भी जाँच करें… वोल्टेज में अचानक वृद्धि होने से ट्यूब टूट सकती है… और किसी के पास ऐसी स्थिति से निपटने का समय ही नहीं है।